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何广平 著
店铺: 华文京典专营店 出版社: 科学出版社 ISBN:9787030343161 商品编码:29800350893 包装:平装 出版时间:2012-06-01
动态微机电系统 : 理论与应用 电子书 下载 mobi epub pdf txt
动态微机电系统 : 理论与应用-so88
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图书介绍
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何广平 著
店铺: 华文京典专营店 出版社: 科学出版社 ISBN:9787030343161 商品编码:29800350893 包装:平装 出版时间:2012-06-01
基本信息
书名:动态微机电系统 : 理论与应用
定价:80元
作者:何广平
出版社:科学出版社
出版日期:2012-06-01
ISBN:9787030343161
字数:
页码:
版次:1
装帧:平装
开本:16开
商品重量:0.558kg
编辑推荐
本书以动态MEMS为主要对象,从功能材料的制备、设计方法、制造工艺与失效模式分析、建模与控制方法以及系统应用的角度,较深入地介绍了当前外的一些主要研究成果。本书主要内容取材于作者所在课题组近年来的一些科研成果,同时也对动态MEMS所涵盖专业领域外的主流前沿技术进行系统归纳,使读者能在较短时间内对动态MEMS的主要技术领域和前沿研究方向有所了解,并从中选择自己感兴趣的主题进一步开展研究。本书内容安排力求深入浅出,引文详实丰富,适合作为初涉本领域的研究生教材,也可供具有研究基础的读者参。
内容提要
本书以动态微机电系统(MEMS)为主要对象,介绍其相关的功能材料、设计方法、制造工艺以及控制方法。全书共6章,主要内容包括:动态MEMS主要技术领域的简况;动态MEMS中常用的功能材料及其制备方法;动态MEMS器件的主要设计方法及其发展现状;动态MEMS的制造工艺,常见失效模式及其克服方法;动态MEMS的控制理论基础、控制技术及其发展现状、控制实验方法等方面的论述;典型动态MEMS系统剖析。《动态微机电系统》可供材料类、机电工程类、自动控制类、仪器科学类等相关专业的高年级本科生和研究生作为教材使用,也可供从事MEMS功能材料、MEMS器件设计、MEMS制造工艺和MEMS控制技术研究的科技人员参。
目录
作者介绍
文摘
序言
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