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英张,王晓浩,唐飞,王文弢 著
店铺: 典则俊雅图书专营店 出版社: 科学出版社 ISBN:9787030268624 商品编码:29793786099 包装:平装 出版时间:2010-03-01
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图书介绍
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英张,王晓浩,唐飞,王文弢 著
店铺: 典则俊雅图书专营店 出版社: 科学出版社 ISBN:9787030268624 商品编码:29793786099 包装:平装 出版时间:2010-03-01
图书基本信息,请以下列介绍为准 | |
书名 | 用于恶劣环境的碳化硅微机电系统 |
作者 | (英)张,王晓浩,唐飞,王文弢 |
定价 | 35.00元 |
ISBN号 | 9787030268624 |
出版社 | 科学出版社 |
出版日期 | 203-01 |
版次 | 1 |
其他参考信息(以实物为准) | ||
装帧:平装 | 开本:16开 | 重量:0.640 |
版次:1 | 字数: | 页码: |
插图 |
目录 |
内容提要 |
碳化硅以其优异的温度特性、电迁移特性、机械特性等,越来越被微电子和微机电系统研究领域所关注,不断有新的研究群体介入这一材料及其应用的研究。《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》是目前译者见到的一本系统论述碳化硅微机电系统的著作,作者是来自英、美从事碳化硅微机电系统研究的几位学者,他们系统综述了碳化硅生长、加工、接触、腐蚀和应用等环节的技术和现状,汇聚了作者大量的经验和智慧。 《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》可供从事微电子、微机械研究的科研人员参考阅读,也可以作为研究生专业课程教材或参考书目。 |
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作者介绍 |
序言 |
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