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林斌彦 著
出版社: 东南大学出版社 ISBN:9787564140533 版次:1 商品编码:11489686 包装:平装 开本:16开 出版时间:2014-03-01 页数:966
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图书介绍
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林斌彦 著
出版社: 东南大学出版社 ISBN:9787564140533 版次:1 商品编码:11489686 包装:平装 开本:16开 出版时间:2014-03-01 页数:966
内容简介
微机电系统(MEMS)技术是一个快速发展的前沿技术领域, 使用的材料种类多、工艺方法复杂, 需要系统地归纳、分析与整理, 以便于读者查阅。本手册是大型专业工具书, 以查阅为主。本书内容包括MEMS材料, MEMS加工工艺和制造工艺, MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。前言/序言
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