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潘桂忠 编
出版社: 上海科学技术出版社 ISBN:9787547809808 版次:1 商品编码:11003031 包装:平装 出版时间:2012-07-01 页数:252
MOS集成电路工艺与制造技术 电子书 下载 mobi epub pdf txt
MOS集成电路工艺与制造技术-so88
MOS集成电路工艺与制造技术 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2022
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潘桂忠 编
出版社: 上海科学技术出版社 ISBN:9787547809808 版次:1 商品编码:11003031 包装:平装 出版时间:2012-07-01 页数:252
内容简介
《MOS集成电路工艺与制造技术》全面介绍了MOS集成电路工艺和制造技术。内容包括:硅晶圆衬底,氧化,扩散,离子注入,外延,化学汽相淀积,光刻,付蚀与刻蚀等,PNOS,NMOS,CMOS,LV HV兼容CMOS等制造工艺。前言/序言
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