CMOS技术中的集成化学微传感系统 (美)海尔莱曼(Hierle-mann,A.)著 97-so88
CMOS技术中的集成化学微传感系统 (美)海尔莱曼(Hierle-mann,A.)著 97 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2022
图书介绍
☆☆☆☆☆
||
店铺: 天乐图书专营店 出版社: 科学出版社 ISBN:9787030182388 商品编码:29696633109 包装:平装 出版时间:2007-01-01
基本信息
书名:CMOS技术中的集成化学微传感系统
定价:36.00元
作者:(美)海尔莱曼(Hierle-mann,A.)著
出版社:科学出版社
出版日期:2007-01-01
ISBN:9787030182388
字数:
页码:
版次:1
装帧:平装
开本:
商品重量:0.359kg
编辑推荐
内容提要
本书涵盖了CMOS化学微传感系统的各个领域,详细论述了化学微传感器在CMOS中的集成技术。在做了简要介绍之后,阐述了所有的基础知识,介绍了各种化学敏感方法,并介绍了CMOS技术及其在微、传感器中的应用,后对未来的发展作出了展望。
本书内容丰富,涵盖了大量的基础知识及CMOS技术中化学微传感器的相关重要信息,适合希望从事此领域工作的学生、工程技术人员、科学家阅读,对于熟悉本领域的专家也很有参考价值。
目录
Preface
1 Introduction
2 Fundamentals of Chemical Sensing
3 Microtechnology for Chemical Sensors
3.1 Microtechnology Substrate Materials
3.2 Fundamental Semiconductor Processing Steps
3.2.1 Deposition
3.2.2 Patterning
3.2.3 Etching
3.2.4 Doping.
3.3 CMOS Technology
3.4 Microfabrication for Chemical Sensors
3.4.1 Micromachining for Chemical Microsensors
3.4.2 Wafer Bonding
3.4.3 Sensitive-Layer Deposition
4 Microfabricated Chemical Sensors
4.1 Chemomechanical Sensors
4.1.1 Rayleigh SAW Devices
4.1.2 Flexural-Plate-Wave or Lamb-Wave Devices
4.1.3 Resonating Cantilevers
4.2 Thermal Sensors
4.2.1 Catalytic Thermal Sensors (Pellistors)
4.2.2 Thermoelectric or Seebeck-Effect Sensors
4.3 Optical Sensors
4.3.1 Integrated Optics
4.3.2 Microspectrometers
4.3.2.1 Fabry-Perot-Type Structures
4.3.2.2 Grating-Type Structures
4.3.3 Bioluminescent Bioreporter Integrated Circuits (BBIC)
4.3.4 Surface Plasmon Resonance (SPR) Devices
4.4 Electrochemical Sensors
4.4.1 Voltammetric Sensors
4.4.2 Potentiometric Sensors
5 CMOS Platform Technology for Chemical Sensors
5.1 CMOS Capacitive Microsystems
5.1.1 CMOS Capacitive Transducer
5.1.2 On-Chip Circuitry of the Capacitive Microsystem
5.1.3 Capacitive Gas Sensing
5.2 CMOS Calorimetric Device
5.2.1 CMOS Calorimetric Transducer
5.2.2 Calorimeter Circuitry
5.2.3 Calorimetric Gas Sensing
5.3 CMOS Integrated Resonant Cantilever
5.3.1 Resonant Cantilever Transducers
5.3.2 Microcantilever Circuitry
5.3.3 Microcantilevers as Chemical Sensors
5.3.4 Comparison of Cantilevers to Other Mass-Sensitive Devices
5.4 CMOS Microhotplate System Development
5.4.1 CMOS Microhotplates
5.4.2 Hotplate-Based CMOS Monolithic Microsystems
5.5 CMOS Chemical Multisensor Systems
5.5.1 CMOS Multiparameter Biochemical Microsystem
5.5.2 CMOS Gas-Phase Multisensor System
5.6 CMOS Chemical Microsensor and System Packaging
5.6.1 Simple Epoxy-Based Package
5.6.2 Chip-on-Board Package
5.6.3 Flip-Chip Package ,
6 Outlook and Future Developments
References
Abbreviations
Index
作者介绍
文摘
序言
CMOS技术中的集成化学微传感系统 (美)海尔莱曼(Hierle-mann,A.)著 97 电子书 下载 mobi epub pdf txt
电子书下载地址:
相关电子书推荐:
- 文件名
- 火箭气动流场特性分析 9787118105957
- 原版引进管乐队标准化训练长号2 正版长号教材入门教材初学长号(附光盘2原版引进管乐队标准化训练教程)
- 世界科普巨匠经典译丛 第二辑:自然的玄机(彩插版)
- 围棋入门与提高 死活训练 围棋基础训练丛书 北京体育大学出版社
- 霍金讲演录-推动系列 宇宙(揭示不一样的宇宙,改变人类的宇宙观)
- 电子产品的安装与调试/高职高专电子类专业“十二五”规划教材
- 气候变化领域本体手册
- 电子工艺基础
- WL-美国国家地理知识小百科:岩石和矿物-[美] 史蒂夫·托米塞克,[德] 卡斯滕·彼得,
- 正版勃拉姆斯F大调第三交响曲总谱 音乐曲谱 湖南文艺出版社书籍
- 暗物质与恐龙 (美)丽莎·兰道尔 (Lisa Randall)著
- 数字电子技术实验教程(第二版)
- 感知科学的魅力-大国重器 9787516511992
- 电子产品原理安装与调试/国家示范(骨干)高职院校重点建设专业优质核心课程系列教材
- 北京花开:写给大看的植物书 畅销书籍 正版 航天北京花开--写给大看的植物书(珍藏版) 韩