点击选择搜索分类
首页 - 林业- 正文
☆☆☆☆☆
||
英张,王晓浩,唐飞,王文弢 著
店铺: 华裕京通图书专营店 出版社: 科学出版社 ISBN:9787030268624 商品编码:29736360149 包装:平装 出版时间:2010-03-01
{RT}用于恶劣环境的碳化硅微机电系统-(英)张,王晓浩,唐飞,王文弢 科学出版社 978 电子书 下载 mobi epub pdf txt
{RT}用于恶劣环境的碳化硅微机电系统-(英)张,王晓浩,唐飞,王文弢 科学出版社 978-so88
{RT}用于恶劣环境的碳化硅微机电系统-(英)张,王晓浩,唐飞,王文弢 科学出版社 978 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2022
图书介绍
☆☆☆☆☆
||
英张,王晓浩,唐飞,王文弢 著
店铺: 华裕京通图书专营店 出版社: 科学出版社 ISBN:9787030268624 商品编码:29736360149 包装:平装 出版时间:2010-03-01
图书基本信息 | |||
图书名称 | 用于恶劣环境的碳化硅微机电系统 | 作者 | (英)张,王晓浩,唐飞,王文弢 |
定价 | 35.00元 | 出版社 | 科学出版社 |
ISBN | 9787030268624 | 出版日期 | 2010-03-01 |
字数 | 页码 | ||
版次 | 1 | 装帧 | 平装 |
内容简介 |
碳化硅以其优异的温度特性、电迁移特性、机械特性等,越来越被微电子和微机电系统研究领域所关注,不断有新的研究群体介入这一材料及其应用的研究。《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》是目前译者见到的一本系统论述碳化硅微机电系统的著作,作者是来自英国、美国从事碳化硅微机电系统研究的几位学者,他们系统综述了碳化硅生长、加工、接触、腐蚀和应用等环节的技术和现状,汇聚了作者大量的经验和智慧。 《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》可供从事微电子、微机械研究的科研人员参考阅读,也可以作为研究生专业课程教材或参考书目。 |
作者简介 |
精彩内容敬请期待 |
目录 |
译者序 前言 章 SiCMEMS概述 1.简介 2.SiC材料性能 3.制作微机电(MEM)器件 4.表面改性 5.SiCMEMS的频率调谐 6.MEMS的机械测试 7.应用举例 8.小结 参考文献 第2章 SiCMEMS沉积技术 1.概述 2.与SiC沉积相关的问题 3.APCVD 4.PE(2VD 5.LPCVD 6.LPCⅧSiC薄膜的掺杂 7.其他沉积方法 8.小结 参考文献 第3章 与SiC接触开发相关的问题综述 1.概述 2.热稳定性 3.p型SiC的欧姆接触 4.使用Ni的欧姆接触 5.肖特基接触缺陷的影响 6.小结 参考文献 第4章 SiC的干法刻蚀 1.概述 2.等离子刻蚀基础 3.SiC的等离子刻蚀 4.等离子体化学 5.掩膜材料 6.近期发展及未来展望 7.小结 参考文献 第5章 SiCMEMS的设计、性能和应用 1.概述 2.SiCMEMS器件 3.结论和展望 参考文献 附录 |
编辑推荐 |
精彩内容敬请期待 |
文摘 |
精彩内容敬请期待 |
序言 |
精彩内容敬请期待 |
电子书下载地址:
相关电子书推荐:
- 文件名
- 世界科普巨匠经典译丛 第三辑:微生物猎人 : 昏睡不必见上帝(下) 克鲁伊夫
- 2019法律硕士联考基础配套练习
- 气的传奇
- 书法有法(限量精装版)
- 数学杂谈 9787535272133 -RT
- 中公2018年上海市公安系统法院系统警察学员招录考试用书历年真题全真模拟预测试卷题库公安法院申论行测
- {RT}探索生命的奥秘-《科学传奇:探索人体的奥秘》编委会著 西南交通大学出版社 9787
- 职工法律素养-杨积堂 主编-杨积堂 主编
- 50件简单易行的环保小事
- 预订 今生若能相依 定不再颠沛流离无论现实如何曲折只要你不曾放弃寻找那未来的某生活会在刁难之后将欠你
- 自信让我更快乐(6-12岁首选校园文学励志读本)/小学生校园励志系列
- 女人明白要趁早之和潇洒姐塑身100天
- 百科图解无人机 9787516513132 瀚鼎文化工作室-RT
- 首席品牌官日志(两位品牌专家教你在中国玩转品牌——中国品牌案例著作,目前畅销
- 自信让我更快乐(6-12岁首选校园文学励志读本)/小学生校园励志系列