RTDK 用于恶劣环境的碳化硅微机电系统 9787030268624 科学出版社-so88
RTDK 用于恶劣环境的碳化硅微机电系统 9787030268624 科学出版社 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2022
图书介绍
☆☆☆☆☆
||
英张,王晓浩,唐飞,王文弢 著
店铺: 晓月草堂图书专营店 出版社: 科学出版社 ISBN:9787030268624 商品编码:29604245433 包装:平装 出版时间:2010-03-01
基本信息
书名:用于恶劣环境的碳化硅微机电系统
定价:35.00元
作者:(英)张,王晓浩,唐飞,王文弢
出版社:科学出版社
出版日期:2010-03-01
ISBN:9787030268624
字数:
页码:
版次:1
装帧:平装
开本:16开
商品重量:0.640kg
编辑推荐
内容提要
碳化硅以其优异的温度特性、电迁移特性、机械特性等,越来越被微电子和微机电系统研究领域所关注,不断有新的研究群体介入这一材料及其应用的研究。《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》是目前译者见到的一本系统论述碳化硅微机电系统的著作,作者是来自英国、美国从事碳化硅微机电系统研究的几位学者,他们系统综述了碳化硅生长、加工、接触、腐蚀和应用等环节的技术和现状,汇聚了作者大量的经验和智慧。
《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》可供从事微电子、微机械研究的科研人员参考阅读,也可以作为研究生专业课程教材或参考书目。
目录
译者序
前言
章 SiCMEMS概述
1.简介
2.SiC材料性能
3.制作微机电(MEM)器件
4.表面改性
5.SiCMEMS的频率调谐
6.MEMS的机械测试
7.应用举例
8.小结
参考文献
第2章 SiCMEMS沉积技术
1.概述
2.与SiC沉积相关的问题
3.APCVD
4.PE(2VD
5.LPCVD
6.LPCⅧSiC薄膜的掺杂
7.其他沉积方法
8.小结
参考文献
第3章 与SiC接触开发相关的问题综述
1.概述
2.热稳定性
3.p型SiC的欧姆接触
4.使用Ni的欧姆接触
5.肖特基接触缺陷的影响
6.小结
参考文献
第4章 SiC的干法刻蚀
1.概述
2.等离子刻蚀基础
3.SiC的等离子刻蚀
4.等离子体化学
5.掩膜材料
6.近期发展及未来展望
7.小结
参考文献
第5章 SiCMEMS的设计、性能和应用
1.概述
2.SiCMEMS器件
3.结论和展望
参考文献
附录
作者介绍
文摘
序言
RTDK 用于恶劣环境的碳化硅微机电系统 9787030268624 科学出版社 电子书 下载 mobi epub pdf txt
电子书下载地址:
相关电子书推荐:
- 文件名
- 物理的故事 9787030537478 杨天林-RT
- 欧式客厅 9787533530914
- 鲍尔兄弟的自然画册 9787568905312 保罗·马丁·库珀 (Paul Marty
- 家庭种菜超简单 9787111501503
- 我的第一本科学漫画书 青少年版全套4册 幼儿搞笑图书科普6-9-12岁小学生 少儿百科全
- 2018版初中语文部编版教材RJ 人教版初中文言文完全解读 七八九年级初一初二初三通用
- 围棋入门口袋书
- 正版 沉稳新中式家居设计范本 理想家居设计编委会 9787111559887
- 走进生命科学丛书:生命的历程 《生命的历程》编写组
- 2018上海市语文中考点击丛书版初中语文教与学阅读赠阅初三语文模拟测试卷
- (青少年“海洋梦”系列丛书)海立云垂——海洋工程与海港 “海洋梦”系列丛书编委会
- 超好看:最暖作文
- 奇闻天下
- 新手养花一本够 涟漪
- 儿童百科全书(千奇百怪的动植物学生版)/探索天下