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美布伦协尔 等 著
店铺: 书逸天下图书专营店 出版社: 哈尔滨工业大学出版社 ISBN:9787560342801 商品编码:29379404219 包装:平装 出版时间:2014-01-01
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图书介绍
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美布伦协尔 等 著
店铺: 书逸天下图书专营店 出版社: 哈尔滨工业大学出版社 ISBN:9787560342801 商品编码:29379404219 包装:平装 出版时间:2014-01-01
基本信息
书名:硅加工中的表征
定价:88.00元
作者:(美)布伦协尔 等
出版社:哈尔滨工业大学出版社
出版日期:2014-01-01
ISBN:9787560342801
字数:
页码:
版次:1
装帧:平装
开本:16开
商品重量:0.4kg
编辑推荐
内容提要
《硅加工中的表征》是材料表征原版系列丛书之一。全书共分六章,内容包括:材料表征技术在硅外延生长中的应用;多晶硅导体;硅化物;铝和铜基导线;级钨基导体;阻隔性薄膜。本书适合作为相关领域的教学、研究、技术人员以及研究生和高年级本科生的参考书。
目录
作者介绍
文摘
序言
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